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Temperatur und Luftfeuchtigkeit Kontrolle beim Bau von sauberen Labor

Jun 05, 2018

Die Temperatur und Luftfeuchtigkeit Bau Laborfläche richten sich hauptsächlich nach den Prozessanforderungen, aber der menschlichen Komfort sollte in Betracht gezogen, wenn die Prozessanforderungen zu treffen. Mit der Verbesserung der Anforderungen an die Reinheit der Luft gab es eine immer strengere werdenden Nachfrage nach Temperatur und Luftfeuchtigkeit des Prozesses. Die spezifischen Prozessanforderungen an Temperatur werden später aufgeführt werden, sondern als ein allgemeiner Grundsatz, aufgrund der zunehmend feinere Verarbeitung Genauigkeit, die Anforderungen für den Temperaturbereich Fluktuation werden immer kleiner und kleiner.

 

Zum Beispiel ist in der Lithographie Exposition Herstellungsprozess groß angelegte integrierte Schaltung, der Unterschied in thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen Glas und Silizium-Wafer als Maske Material erforderlich, kleiner und kleiner werden. 100 Umm Durchmesser Silizium wafer, die Temperaturerhöhung von 1 Grad, es verursacht eine Längenausdehnung der 0.24um, es muss eine Konstante Temperatur von ± 0,1 Grad haben, während die gewünschte luftfeuchtigkeitswert in der Regel niedriger, weil Menschen Schwitzen, das Produkt wird verschmutzt, in insbesondere ist Angst der Natrium-Halbleiter-Workshop dieser Workshop-Temperatur sollte nicht mehr als 25 Grad, das Problem der übermäßigen Feuchtigkeit erzeugt mehr Probleme. Wenn die Relative Luftfeuchtigkeit 55 % übersteigt, wird auf die Kühlung Wasser Rohrwand Kondensation. Tritt es in einem Präzisionsgerät oder Schaltung, wird es verschiedene Unfälle verursachen.

Druck-Vorschriften

Für die meisten Reinräume ist es notwendig, den Innendruck (statischer Druck) höher als der Außendruck (statischer Druck) beizubehalten, um Eindringen von externer Kontamination zu verhindern. Die Aufrechterhaltung der Druckdifferenz sollte in der Regel die folgenden Grundsätzen Rechnung tragen:

(1) der Druck der sauberen Raum ist höher als der Druck des Raumes nicht zu reinigen.

(2) der Druck der hohen Reinheitsklasse ist höher als der Druck des angrenzenden niedrigen Sauberkeit Niveaus.

Die Wartung der Druckdifferenz hängt die Menge an Frischluft, die für die Menge der Luft Austritt aus der Lücke unter dieser Druckunterschied ausgleichen kann. So ist die physikalische Bedeutung der Druckdifferenz der Widerstand gegen Leckage (oder Penetration) Wenn das Luftvolumen durchläuft verschiedene Lücken im Reinraum.


Luftgeschwindigkeit Vorschriften im Reinraum


Die Luftstrom-Geschwindigkeit, die hier diskutiert werden bezieht sich auf die Geschwindigkeit der Luftströmung im Reinraum. Die Luftstrom-Geschwindigkeit in anderen Reinräumen wird diskutiert, wenn es um spezielle Ausrüstung.

Für die turbulente Reinraum da die wichtigsten beruhen vor allem auf die Verdünnung der Luft, den Grad der Luftverschmutzung in Innenräumen zu reduzieren, das Konzept der Anzahl der Luftwechsel wird hauptsächlich verwendet, anstatt direkt mit dem Konzept der Geschwindigkeit, aber es gibt auch die folgenden Anforderungen für die indoor Luftgeschwindigkeit;

(1) die Luftgeschwindigkeit am Ausgang des Luftauslasses sollte nicht zu groß sein. Im Vergleich zu einem einfachen klimatisierten Raum, bedarf es schneller Geschwindigkeit Dämpfung und eine größere Verbreitung Winkel.

(2) die Luft Strömungsgeschwindigkeit (z. B. die Rezirkulation Geschwindigkeit zum Zeitpunkt der Seite Fütterung), die über der Horizontalebene geblasen wird, sollte nicht zu groß, um nicht zu sprengen, die Oberfläche Partikel in den Luftstrom zurückkehren und erneute Kontamination verursachen. Diese Geschwindigkeit wird in der Regel nicht so groß wie 0,2 m/s empfohlen.

Für den Parallel-Fluss Zimmer "gemeinhin als laminare Reinraum", die Geschwindigkeit des Querschnitts ist ein sehr wichtiger Indikator, da der Kolben ist vor allem für den Luftstrom verwendet, um das Färben auszuschließen. In der Vergangenheit wurde in die Vereinigten Staaten 20gB standard und 0,45 verwendet wurde. m/s. Aber Menschen haben auch gelernt, dass die Höhe der Ventilation erforderlich für solch eine große Geschwindigkeit sehr groß ist. Um Energie zu sparen, versuchen sie auch die Möglichkeit der Verringerung der Geschwindigkeit des Windes.

In China sind die Luft-Cleantech-Maßnahmen und der Reinraum-Design-Code

Vertikale parallele Strömung (Laminar-Flow) Reinraum ≥0.25 m/s

Horizontale parallele Strömung (Laminar-Flow) Reinraum ≥ 0,35 m/s

Lärmschutz


Lärmschutznormen für saubere Labor Bau sind im allgemeinen strenger als die für den Schutz der Gesundheit. Das soll sicherstellen, dass Operationen normalerweise durchgeführt werden und notwendigen conversational Kontakt und eine sichere und komfortable Arbeitsumgebung erfüllt sind. Daher ist der wichtigste Indikator der Lärm in einem Reinraum.


(1) die Wirkung der Mühe


Durch Lärm Menschen fühlen sich unwohl und haben Mühe Emotionen. Sie gliedern sich in der Regel in sehr ruhig, sehr ruhig, ruhig, etwas laut, relativ laut und extrem laut. Wo die hohe Resonanz sehr laut und extrem laut ist, es ist hohe Angst, und der Anteil der hohen Anzahl der Probleme in der Gesamtzahl ist hoher Angst.


2. Auswirkungen auf die Effizienz der Arbeit


Dies hängt hauptsächlich von der Ebene der Maßnahmen in den drei Bereichen. Diese drei Aspekte sind: Konzentration, Genauigkeit der Aktion und Geschwindigkeit der Arbeit;


3. Störungen mit integrierte Kommunikation